氟化铒，化学式为 ErF₃，由铒粉和氟在化学反应釜或大型化学反应釜中反应制得，反应需要最低 LV 级电压（30 EU/t）发生，未超频状态下每生成 4 个氟化铒耗时 5 秒。

氟化铒是铒掺杂氟化晶体玻璃的重要成分之一，与氟化晶体玻璃粉在搅拌机中以 4 : 1 的比例混合即可制成。