二氟三氧合氙酸铯，化学式CsXeO₃F，可用于硅岩处理线中，将八氟合超能硅岩酸氡处理成九氟合氙酸硅岩铯以便后续处理，而自身则转化为三氧化氡。由氟化铯和三氧化氙在化学反应釜中发生化合反应制得，化学方程式：

XeO₃ + CsF = CsXeO₃F