氟钽酸，化学式为 TaHF₇，由浸出钽铁矿在化学反应釜或大型化学反应釜中溶解于氢氟酸（HF）反应形成，反应需要最低 MV 级电压（120 EU/t）发生，未超频状态下每生成 2,000 mB 氟钽酸耗时 9 秒，作为钽铁矿粉处理流程的中间产物出现。

在大型化学反应釜中利用铌-钽分离混合物与氟钽酸反应分离，即会产出氧五氟铌酸盐（H₂NbOF₅）以及七氟钽酸盐（H₂TaF₇）以供进一步反应处理。