一台用于进行 CVD(Chemical Vapor Deposition,化学气相沉积)反应的多方块机器。
目前可以用来制作 GCYS 所添加的高级电路基板及相关材料,也可用于生产立方氮化硼和六方氮化硼。
部分配方有真空/压强需求,因此需要对应的压强/真空仓。
注意:本机器不能用于生产碳纳米管,生产碳纳米管所需的 Plasma CVD 尚未完成。
搭建方法:
第一层:
使用绝缘机械方块摆放成 5×5 底座。绝缘机械方块处可用任意总线/仓代替,第二、三层同理。
第二层:
用 Substrate Casing、绝缘机械方块和强化玻璃按图示方法摆放,主方块放在角落处(注意朝向)。
第三层:
两侧放置绝缘机械方块,中间用强化玻璃填充。