三氯鈇烷，化学式为 FlCl₃，由亚稳态鈇粉和盐酸在化学反应釜中发生置换反应制得，化学方程式：

2 Fl + 6 HCl = 2 FlCl₃ + 3 H₂ ↑

三氯鈇烷可在化学浸洗器中处理钅黑掺杂的晶圆，得到光刻胶涂覆的钅黑掺杂的晶圆以供进一步处理。