四氟化钛，由钛粉和氢氟酸在化学反应釜中发生置换反应制得，反应需要最低 MV 级电压（120 EU/t）发生，未超频状态下每生成 1,000 mB 四氟化钛耗时 15 秒。

在气体离心机中分离四氟化钛，即可从中提取出四氟化钛-50以供进一步处理，同时生成氟。