硅纳米粒子由三甲基硅烷、柠檬酸、十六烷三甲基溴化铵和氨在大型化学反应釜中反应制成，制取需要 EV 级电压（1,920 EU/t）。化学方程式：

C₃H₁₀Si + 5 C₆H₈O₇ + C₁₉H₄₂BrN + 3 NH₃ = Si ↓ + 2 CO₂ + 4 NO₂ + HBr + 25 C₂H₄O

在化工厂中，硅纳米粒子可用于制造纳米硅阴极。