铌-钽氧化物由含铌-钽粉、二氧化硅粉和碳粉在工业高炉中反应制得，同时生成副产物二氧化碳。可在大型化学反应釜中溶于氢氟酸并分解以制备铌-钽氟化混合物，同时生成其它产物四氟化硅、氟化铝和水。