蒸馏水，化学式为 H₂O，由水在蒸馏室（或蒸馏塔）中处理制得，每 576 mB 水能够转化为 520 mB 蒸馏水。

蒸馏水可以代替普通的水处理部分物品，例如在化学浸洗器中浸湿物品、在高压釜中压缩宝石粉末、在洗矿厂中清洗粉碎矿石得到纯净的粉碎矿石，以及在板材切割机中切割晶圆和材料块等等。

在多数情况下，这些机器运行消耗的蒸馏水比普通的水更少，且利用蒸馏水替代普通的水时能够有效缩短处理时间，降低能量消耗；但在部分机器中（如化学浸洗器和流体固化器），使用蒸馏水的效果与使用普通的水是完全一致的。

与水类似，蒸馏水同样可在流体加热器中加热，每 6 mB 蒸馏水能够转化为 960 mB 蒸汽；或是在流体固化器中降温，形成雪或雪球。将蒸馏水放入电解机中分解，即可产出氢和氧，且在同等电压等级下的处理速度与电解普通的水一致。

在其它情况下，蒸馏水不能够代替普通的水参与处理，例如在化学反应釜中参与化学反应等。