三甲基氯硅烷，化学式为 (CH₃)₃SiCl，通常由氯甲烷和硅粉在化学反应釜或大型化学反应釜中反应制得，反应需要最低 EV 级电压（1,920 EU/t）发生，每生产 1,000 mB 三甲基氯硅烷耗时 5.5 秒。化学方程式：

Si + 3 CH₃Cl = (CH₃)₃SiCl + Cl₂

上述反应单次还会另外消耗 7,000 mB 水，并产出 8,000 mB 氯。

由三甲基氯硅烷和氢化钠（NaH）在化学反应釜或大型化学反应釜中反应，即可转化得到三甲基硅烷（C₃H₁₀Si），并可进一步用于生产硅纳米粒子、甲氧基苯甲醛（C₈H₈O₂）以及碳氟化合物（HCHB₁₁F₁₁），以分别参与纳米硅阴极、甲氧基苯亚甲基丁基苯胺以及质子化富勒烯筛分基质的生产流程之中。在上述反应中，后两者将会同时返还副产物三甲基氯硅烷以供循环利用。

三甲基氯硅烷也可在大型化学反应釜中作为反应物直接用于制取乙酰化试剂（C₉H₁₂Si(MgBr)₂）。在化工厂中利用乙酰化试剂制取二氢碘化四联苯（H₂C₁₈H₁₁I）的同时，也将会返还三甲基氯硅烷以供循环利用。

另外，在制取三（2-氨基乙基）胺（(NH₂CH₂CH₂)₃N）以及二溴丙烯醛（C₂H₂Br₂O₂）的反应之中，也需要三甲基氯硅烷作为催化剂来参与反应。

三甲基硅烷，化学式为 C₃H₁₀Si，由三甲基氯硅烷和氢化钠在化学反应釜或大型化学反应釜中反应制得，反应需要最低 EV 级电压（1,920 EU/t）发生，每生产 1,000 mB 三甲基硅烷耗时 8.5 秒。化学方程式：

(CH₃)₃SiCl + NaH = C₃H₁₀Si + NaCl

在大型化学反应釜中，三甲基硅烷可用于制取硅纳米粒子、甲氧基苯甲醛（C₈H₈O₂）以及碳氟化合物（HCHB₁₁F₁₁），以分别参与纳米硅阴极、甲氧基苯亚甲基丁基苯胺以及质子化富勒烯筛分基质的生产流程之中。在上述反应中，后两者反应将会同时返还三甲基氯硅烷以供循环利用。