氟化铵，化学式为 NH₄F，由氟硅酸、氨和水在化学反应釜或大型化学反应釜中反应制得，反应需要最低 HV 级电压（480 EU/t）发生，未超频状态下每生成 6,000 mB 氟化铵耗时 16 秒，同时析出二氧化硅粉。反应方程式：

H₂SiF₆ + 6 NH₃ + 2 H₂O = 6 NH₄F + SiO₂ ↓

在离心机中分解并分离氟化铵，产出二氟化铵（NH₄HF₂）并放出氨，作为掺钕的钇铝石榴石晶体、光学SoC晶圆等物品的生产流程所需的原料之一使用；也可使其在搅拌机中溶解于蒸馏水后分离回收部分基本的化工原料。